故障一：谐振腔(振荡桶)内打火
谐振腔(振荡桶)内打火的原因是由于谐振腔(振荡桶)内积尘太多或有杂物引起，先用干燥的压缩空气吹谐振腔（振荡桶），一般能解决问题；如不能解决则应将谐振腔（振荡桶）的频率板拆下，检查谐振腔（振荡桶）的内桶与外桶之间的间隙内是否有杂物并清除；在高周波机的维修中此故障是常见的。
故障二：过电流（火花）保护（电流表指针大幅转动）
出现过电流保护的情况有两个原因：1)由于谐振腔（振荡桶）内有杂物引起的严重短路出现过流保护；可参照谐振腔(振荡桶)内打火的处理方法处理。2)元器件损坏引起的过流保护：主要是由电子管短路、整流二极管损坏及高压变压器损坏引起；两种过流保护可按“如何区分故障产生的部位”中的方法区分。
故障三：火花（过电流）保护（电流表指针小幅转动）
出现此故障现象多为保护板有问题：
1.火花保护灵敏度是否调得太高；
2.过流保护继电器并联的分流电阻是否开路或接触不良；
3.谐振腔(振荡桶)内是否有打火现象；
4.发热管是否有漏电。
故障四：出现配电开关跳闸
出现此故障现象时应注意区分是有高频输出时跳闸还是无高频输出时跳闸。无高频输出时跳闸请检查灯丝变压器是否漏电、连接电缆是否有绝缘层破损漏电；有高频输出时跳闸原因是1整机工作电流偏大所致，造成原因有：
1.高频部分有严重短路（包括电子管损坏），可参照过“电流保护”中的方法处理；
2.直流高压供电回路短路，应检查高压滤波电容是否击穿漏电、灯丝变压器的灯丝绕组是否对地漏电、电子管支架固定电容（高频耦合电容）是否击穿漏电、整流二极管是否有击穿短路现象；
3.高压变压器是否对地击穿漏电、可断开整流板输出端试机：若故障存在则说明高压变压器损坏；若故障消失则故障是后级电路引起；漏电开关自身原因：漏电开关的工作电流小于机器的输入电流；b漏电开关的抗干扰能差，受高频干扰而引起的误动作。
故障五：电子管好坏的判断方法（为了安全，测试时请将高压变压器的输入端处于断路状态）
1.将机器通电，使电子管预热，用万用表测量阴极与栅极、阴极与阳极间的电压，正常时阴栅电压为1.2~4V，阴阳电压为3~6V；若电压为0V，则说明电子管损坏；
2.断开栅极接线，将机器通电，使电子管预热，用万用表测量阴极与栅极、阴极与阳极间的电阻，若正向电阻值为无穷大、反向较小则说明电子管正常，若正反向电阻值为无穷大或正反向电阻值都较小则说明电子管损坏。
